在晶圓劃切過程中，不僅需要選擇合適的劃片刀，而且要關注加工條件的優(yōu)化。合適的劃片刀和良好的加工條件，對于獲得好的切割效果起著至關重要的作用。

上期我們已經(jīng)分析劃片刀選型的幾個關鍵因素，本期關注加工條件的影響。

加工條件主要涉及以下幾個方面：

• 主軸轉(zhuǎn)速

• 進給速度

• 冷卻水

刀片固定在劃片機主軸上，以非常高的速度旋轉(zhuǎn)，通常在每分鐘25000至60000轉(zhuǎn)之間，這就是我們通常所說的主軸轉(zhuǎn)速。主軸轉(zhuǎn)速是影響切割效果的關鍵因素之一。

在相同轉(zhuǎn)速下，刀片外徑不同，外圓線速度也不同。不同外徑的刀片為了獲得相同的外圓線速度，必須調(diào)整主軸轉(zhuǎn)速，以保證切割質(zhì)量及穩(wěn)定性。

當主軸轉(zhuǎn)速增加時，金剛石的加工負荷減少，從而提高刀片壽命，同時降低了被切產(chǎn)品正面崩邊產(chǎn)生的風險。但是，金剛石加工負荷減少會阻礙刀片自銳，導致被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的增加。

降低主軸轉(zhuǎn)速，加速刀片自銳，是減少被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的有效措施之一。

相同切割條件下，主軸轉(zhuǎn)速越高，被切產(chǎn)品正面崩邊尺寸越小，背面崩邊尺寸則越大，刀片蛇形切割的發(fā)生概率也越高。 

為了使被切產(chǎn)品保持良好的切割質(zhì)量，并達到預期的使用壽命，有必要根據(jù)被切產(chǎn)品的材料情況、刀片規(guī)格和加工質(zhì)量要求對主軸轉(zhuǎn)速進行合理選擇。

在切割過程中，我們移動臺盤來實現(xiàn)切割速度的變化（1-300mm/s）。大家都知道工廠生產(chǎn)中，效率意味著成本。切割速度越高，效率越高。但是往往切割速度越高，刀片負載越高，切割品質(zhì)會越差。因此優(yōu)化切割速度實現(xiàn)高效率高品質(zhì)的生產(chǎn)至關重要。

高進給速度下，每顆金剛石的負載也會增加，對崩邊產(chǎn)生較大影響，同時，進給速度會影響刀片壽命。

進給速度越慢，背崩尺寸越小，刀片壽命越長。相反，進給速度越快，背崩尺寸越大，刀片磨損加大，刀片壽命也就越短。

由于在劃切中主軸高速旋轉(zhuǎn)，在切割材料時，刀片與材料的接觸處會產(chǎn)生很高的溫度，穩(wěn)定的劃切冷卻水流量，不僅在劃切過程中可以起到冷卻刀片的作用，還可以防止電擊、電弧現(xiàn)象發(fā)生，同時沖掉劃切過程中碾碎的碎粒，減少芯片表面的碎屑污染，提高劃切品質(zhì)。

劃切冷卻水，主要采用去離子水，可根據(jù)產(chǎn)品需要增加特殊附件，例如二氧化碳氣體，以改變水質(zhì)電阻值等。 

冷卻水的流量和溫度達到穩(wěn)定時，劃切品質(zhì)才能達能最佳。冷卻水流量的調(diào)節(jié)，包括噴嘴方向、高低、流量大小的調(diào)節(jié)。只有保證了足夠的冷卻效果，才能有效控制劃切崩裂。